电液伺服阀是一种接受模拟量电控制信号,输出随电控信号大小和极性变化、且快速响应的模拟量流量和(或)压力的液压控制阀。根据其液压放大器的不同,主要分为喷嘴挡板式伺服阀和射流管式伺服阀。电液伺服阀具有体积小,功率放大率高、直线性好、响应速度快、运动平稳可靠,能适应模拟量和数字量调节等优点,在各种电液伺服系统中得到特别的重视。
电液比例阀,是针对伺服控制存在的诸如功率损失大、对液压过滤要求高、制造和维护费用高、而它提供的快速响应性在一般工业设备中又往往用不着的情况,是在传统开关阀的基础上发展起来的。电液比例阀可以根据输入电气信号,按比例对工作油液的压力、流量和方向进行控制。
比例阀发展的初期阶段,仅是将比例电磁铁代替普通液压阀的开关型电磁铁或调节手柄,工作频宽小,稳态滞环大,只能用于开环系统。20世纪70年代中期至80年代初,比例阀开始采用各种内反馈原理,耐高压、比例电磁铁和比例放大器技术日趋成熟。阀的工作频宽达到5～10Hz,稳态滞环降低到3%左右。
80年代后,比例阀在设计上采用了压力、流量、位移内反馈及电校正等手段,使阀的稳态精度、动态响应和稳定性都有了进一步提高。除了中位仍有部分死区外,其控制性能与伺服阀更为接近。