功率半导体器件CV测试系统

系统方案

普赛斯功率半导体器件CV测试系统主要由源表、LCR 表、矩阵开关和上位机软件组成。LCR表支持的测量频率范围在0.1Hz~1MHz，源表(SMU)负责提供可调直流电压偏置，通过矩阵开关加载在待测件上。

进行C-V 测量时，通常在电容两端施加直流偏压，同时利用一个交流信号进行测量。一般使用的交流信号频率在10KHz 到1MHz   之间。所加载的直流偏压用作直流电压扫描，扫描过程中测试待测器件待测器件的交流电压和电流，从而计算出不同电压下的电容值。

系统优势

• 频率范围宽：频率范围10Hz~1MHz连续频率点可调；

• 高精度、大动态范围：提供0V~3500V偏压范围，精度0.1%；

• 内置CV测试：内置自动化CV测试软件，包含C-V（电容- 电压），C-T（电容- 时间），C-F（电容 - 频率）等多项测试测试功能;

• 兼容IV测试：同时支持击穿特性以及漏电流特性测试；

• 实时曲线绘制：软件界面直观展示项目测试数据及曲线，便于监控；

• 扩展性强：系统采用模块化设计，可根据需求灵活搭配；

  基本参数

典型配置